Plateforme Élaboration et caractérisation de couches minces

La plateforme offre des moyens d'élaboration de matériaux en couches minces (épaisseur allant d'une dizaine de nanomètres au micromètre) permettant la réalisation de revêtements à propriétés spécifiques dans des domaines d'application variés : optique, mécanique, optoélectronique.

Différentes techniques de dépôt sont disponibles suivant la nature du film à déposer : dépôt physique en phase vapeur (Physical Vapor Deposition ou PVD), spin-coating et dip-coating. Possibilité d’élaborer des matériaux isolants ou conducteurs sur tout type de substrat (polymère, verre, acier, silicium…)

Les techniques PVD déposent une très large gamme de matériaux de stœchiométrie contrôlée : métaux (pur ou alliage) semi-conducteurs et oxyde.

Le spin-coating et le dip-coating permettent le dépôt de films minces de polymère et composites à matrice polymère.

La plateforme dispose également d'un microscope à force atomique (AFM) qui offre la possibilité de sonder la surface des matériaux élaborés (état de surface, topographie).

Les services proposés par la plateforme

Les équipements sont accessibles à tous les personnels de l'IMMM (chercheurs, enseignants-chercheurs, personnels ITA-BIATSS, doctorants et stagiaires). Les projets d'élaboration seront validés par la plateforme du point de vue de la faisabilité technique. Après une formation préalable l'utilisateur travaille en autonomie sur les équipements avec possibilité d'accompagnement.

La plateforme propose également la réalisation de dépôts spécifiques pour des entreprises ou des partenaires extérieurs à l'IMMM.

Responsable de la plateforme

Pour de plus amples d’informations contactez :

Mathieu Edely
mathieu.edely @ univ-lemans.fr
02 43 83 27 90

Les équipements de la plateforme


Pulvérisation cathodique : deux réacteurs permettant les dépôts de couches minces multicouches avec contrôle de la stœchiométrie.

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Évaporation thermique : bâti équipé d'une balance à quartz : dépôts de métaux (Or, Cr) à épaisseur et rugosité contrôlées

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Spin coater avec programmateur : contrôle et répétabilité des paramètres du process (accélération, vitesse, décélération)

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Microscope à force atomique pour imagerie, mesures mécaniques de routine (friction, courbes de force)

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