Bâti RF

L’appareillage est conçu pour le traitement des poudres (Métal Process, Grenoble). Cet équipement est composé de trois parties : le système d’excitation (SAIREM, 0-600 W, 13,56 MHz), l’enceinte et le groupe de pompage. Le réacteur métallique et non magnétique (285 x 140 x 220 mm3) est en aluminium. La chambre contient une cathode interne directement reliée au générateur. L’échantillon placé sur le porte substrat est au potentiel flottant. Le groupe de pompage est constitué, d’une part, d’une pompe primaire (Adixen série Pascal 2015SD) et d’une pompe turbomoléculaire (Alcatel ATP 80/100). La pression (p) est mesurée au moyen d’une jauge combinée Pirani/cathode froide (Alcatel ACC 1009). Le flux de gaz est contrôlé par un régulateur de débit massique (FC 7700 CDC Area).

Utilisation et résultats

Ce type d’appareil nécessite la mise au point d’une procédure d’utilisation, spécifique à chaque application, établie en concertation entre le chercheur et le responsable de la plateforme. Le bâti est dédié aux traitements (dépôt et modification) des poudres et films (organiques, métalliques).

Illustration de la sulfonation plasma d’argile (K. Fatyeyeva, J. Bigarré, B. Blondel, H. Galiano, D Gaud, M. Lecardeur, F. Poncin-Epaillard  Journal of Membrane Science, 366, 33–42, (2010))

 

 

 1 étape

 2 étapes

 

 Laponite

 plasma SO2

 plasma He + p-styrène sulfonate

 S (%)

 < 0.1

 1.85

 9.9

 C (%)

 < 0.1

 -

 35.6

 IEC (meq/g)

 -

 0.62

 3.32

Produits et matériaux concernés

Pour ce réacteur, tout type de matériau ou de gaz peut être utilisé.

Exemples d’applications

Le traitement plasma est exploité afin d’améliorer l’affinité des charges des matériaux polymères et d’obtenir après mélangeage de véritables nanocomposites. Cette voie évite la mise d’une chimie en solution utilisant actuellement des réactifs peu respectueux de l’environnement. Ainsi ont été traitées différentes argiles pour favoriser leur exfoliation mais aussi incorporer de nouveaux groupements chimiques (oléophiles avec un dépôt plasma d’acétylène, ou sulfonés avec un plasma de SO2).

Caractérisation d'une argile sulfonée par voie  plasma (K. Fatyeyeva, J. Bigarré, B. Blondel, H. Galiano, D Gaud, M. Lecardeur, F. Poncin-Epaillard  Journal of Membrane Science, 366, 33–42, (2010))

Détails techniques


Durée d’une manipulation : qq min- qq 10min
Gamme de température : ~ ambiante
Gamme des vitesses de dépôt : ~10 nm/min
taille max. d’un échantillon : 200 cm2

 


Contact

Debarnot Dominique 
dominique.debarnot@univ-lemans.fr           
02 43 83 33 21

Poncin-Epaillard Fabienne    
fabienne.poncin-epaillard@univ-lemans.fr  
02 43 83 33 51

Pour les aspects techniques :

Dechancé Cyrille      
cyrille.dechancé@univ-lemans.fr    
02 43 83 33 17

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