Bâti micro-ondes

Cet équipement est composé de trois parties principales : le système d'excitation (générateur SAIREM, 433 MHz, 0-250 W), le réacteur et le groupe de pompage. Le transfert d'énergie s'effectue par l'intermédiaire d'un guide d'onde de type surfatron. Le réacteur est un cylindre en quartz de 500 mm de longueur, de diamètre interne de 76 mm et de 4 mm d'épaisseur. Le réacteur est installé sur un sas permettant l'introduction de l'échantillon. Le porte-échantillon peut être placé, soit dans le plasma, soit en post-décharge spatiale. Le système de pompage est constitué d'une pompe primaire (ALCATEL N°2012) et d'une pompe turbomoléculaire. La pression est mesurée au moyen de jauges Penning et Pirani. Le flux de gaz est contrôlé par un régulateur de débit massique MKS N°1259 B.

Utilisation et résultats

Ce type d’appareil nécessite la mise au point d’une procédure d’utilisation, spécifique à chaque application, établie en concertation entre le chercheur et le responsable de la plateforme. Le bâti est dédié aux traitements de surface (modifications) de matériaux sous forme de plaques ou de films.

Produits et matériaux concernés        

Pour le bâti micro-ondes, tout  gaz du type (N2, O2, CF4, CO2, Ar, He, H2…) peut être utilisé. Aucun précurseur de dépôt ne peut être testé. Les échantillons doivent être sous forme de film ou de plaques.

Exemples d’applications

Détails techniques


Durée d’une manipulation : qq min- qq 10min
Gamme de température : ~ ambiante
taille max. d’un échantillon : 5 cm2



Contact

Debarnot Dominique 
dominique.debarnot@univ-lemans.fr           
02 43 83 33 21

Poncin-Epaillard Fabienne    
fabienne.poncin-epaillard@univ-lemans.fr  
02 43 83 33 51

Pour les aspects techniques :

Dechancé Cyrille      
cyrille.dechancé@univ-lemans.fr    
02 43 83 33 17


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