Bâti PECVD

 Le réacteur plasma (MG300S, Plassys)  est un réacteur RF (13,56 MHz) à couplage capacitif avec un sas d’introduction muni d’une canne de transfert. L’enceinte cylindrique en aluminium comporte deux électrodes horizontales d’un diamètre de 30 cm, d’une épaisseur de 1 cm et séparées de 5 cm. Le porte-substrat est déposé sur l’électrode inférieure reliée au générateur RF. Le pompage est assuré par une pompe turbomoléculaire (Seiko Seiki STP control unit) jusqu’à l’obtention d’une pression de l’ordre de 5.10-6 Torr (Jauge Penning). Les gaz sont introduits par un douche d’injection située au-dessus du porte-substrat. Dans le cas d’un plasma en mode pulsé, un générateur RF (Advanced Energy, Cesar 133) est utilisé avec un réglage manuel de l’accord d’impédance.

Utilisation et résultats

Ce type d’appareil nécessite la mise au point d’une procédure d’utilisation, spécifique à chaque application, établie en concertation entre le chercheur et le responsable de la plateforme. Le bâti est dédié aux dépôts organiques et organiques-métalliques en couche mince.

Illustration de dépôt d’un copolymère (Thèse de C. Chahine, janvier 2015).

Produits et matériaux concernés

Tout précurseur organique ou organométallique ayant une tension de vapeur compatible avec la gamme de pression requise pour amorcer le plasma est potentiellement utilisable.

Exemples d’applications

Grâce aux études menées sur le paramétrage du réacteur, un contrôle de la structure du (co)polymère est possible variant d’une forme très réticulée à une structure pratiquement linéaire de la polyaniline.

D. Debarnot, T. Mérian, F Poncin-Epaillard Plasma Processes and Polymers 8(8), 763-772(2011)

 

En alliant gravure, dépôt et fluoration plasma, il a été possible d’élaborer de surfaces « tapis brosse » aux propriétés anti adhésives vis-à-vis des bactéries.

J. Tarrade, Th. Darmanin, E. Taffin de Givenchy, F. Guittard, D. Debarnot, F. Poncin-Epaillard, Appl. Surf. Sci. 292, 782-89 (2014).

Détails techniques


Durée d’une manipulation : qq min- qq 10 min
Gamme de température : ~ ambiante
Gamme des vitesses de dépôt : ~10 nm/min
taille max. d’un échantillon : 700 cm2 


 

Contact

Debarnot Dominique 
dominique.debarnot@univ-lemans.fr           
02 43 83 33 21

Poncin-Epaillard Fabienne    
fabienne.poncin-epaillard@univ-lemans.fr  
02 43 83 33 51

Pour les aspects techniques :

Dechancé Cyrille      
cyrille.dechancé@univ-lemans.fr    
02 43 83 33 17


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