Bâti PECVD-PEPVD

Le réacteur (Boréal Plasmas 7050) est une enceinte en aluminium (d=400 mm, L=300 mm) munie de 12 applicateurs ECR (Electronic Cyclotronic Resonance). Le pompage est assuré par une pompe sèche (Adixen ACP28G) et une pompe turbomoléculaire (Adixen ATH-300i). La pression est mesurée par deux jauges (Pirani-cathode froide Pfeiffer PKR 251 et capacitive Pfeiffer CCR 364). L’introduction des gaz avec un débit contrôlé (Brooks SLA5850S) se fait par le couvercle de type « douche ». Le plasma est produit par un générateur Sairem GMP20KED (2.45 GHz, 60-2000 W). La pulvérisation de métaux est possible grâce à 7 cibles (diamètre 60 mm) refroidies par circulation d’eau et polarisables jusqu’à -600 V. Le porte-substrat refroidi et polarisable est situé à 50 mm du bas du réacteur et à 150 mm de l’axe des applicateurs.

Utilisation et résultats

Produits et matériaux concernés

Pour la PECVD, tout précurseur organique ayant une tension de vapeur compatible avec la gamme de pression requise pour amorcer le plasma est potentiellement utilisable. Pour la PEPVD, les cibles métalliques sont à fournir.

Exemples d’applications

Le projet COMPANI illustre les potentialités de ce réacteur (En savoir plus)

Détails techniques

Durée d’une manipulation : qq min- qq 10min
Gamme de température : ~ ambiante
Gamme des vitesses de dépôt : ~10 nm/min
taille max. d’un échantillon : 100 cm2 

Contact

Debarnot Dominique 
dominique.debarnot@univ-lemans.fr           
02 43 83 33 21

Poncin-Epaillard Fabienne    
fabienne.poncin-epaillard@univ-lemans.fr  
02 43 83 33 51

Pour les aspects techniques :

Dechancé Cyrille      
cyrille.dechancé@univ-lemans.fr    
02 43 83 33 17


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